最新网址:www.badaoge.org
经开区。启棠科技碳化硅研发中心。
一楼的量产测试车间里,气氛比外面的三伏天还要焦灼。
三台改造好的华科外延炉呈“品”字形排列。
陶安然手里攥着一沓刚打印出来的测试报告,指关节因为用力而泛白。她今天没穿那件标志性的灰色卫衣,而是套着严严实实的无尘服,只露出一双布满血丝的眼睛。
“周总监!”陶安然的声音穿透了车间里真空泵的嗡嗡声,带着明显的怒意,“这三根晶棒的数据我看了。两根完美,一根在生长中段出现了微观应力裂纹。良率66%!”
她把报告重重地拍在不锈钢操作台上。
“我早说过,这台炉子的温控曲线在1850度到1900度这个区间,热场分布有0.2度的延迟!必须在生长中段动态调整氩气流量,才能释放热应力!你为什么把我的动态参数改成了恒定流量?!”
周德明站在操作台对面。
他没穿无尘服,只套了一件白大褂,里面还是那件洗得发白的旧夹克。这老头似乎对无尘车间的规矩有一种天然的蔑视,但偏偏他站的地方,连一粒灰尘都不敢落。
他拿起那份报告,连老花镜都没戴,眯着眼睛扫了一眼。
“陶工。”周德明的干巴巴的回道,像两块生锈的铁皮在摩擦,“你的动态参数,我看了。很精妙。在实验室里,你一个人盯着一台炉子,随时微调气阀,确实能长出完美的晶棒。”
他把报告扔回桌上,抬起头,那双浑浊眼睛直视着陶安然。
“但这里是量产线。”
周德明竖起一根粗糙的手指。
“十台炉子同时开,你指望车间里的操作工像你一样,凭感觉去微调每一台炉子的氩气流量?只要有一个工人的手抖了一下,或者反应慢了半秒,整炉的货就全废了!”
“量产,靠的不是天才的灵感,是傻瓜式的纪律!”周德明的声音在车间里回荡,“我把你的动态参数改成恒定流量,是为了把操作变量降到最低!66%的良率虽然难看,但它是可复制的!你的99%,在量产线上就是一颗定时炸弹!”
陶安然气结。
她在硅谷的时候,哪受过这种气?她设计的参数,从来都是被当成金科玉律供着的。
“你这是因噎废食!”陶安然毫不退让,“因为工人可能出错,就放弃最优的工艺路径?你这是在扼杀这台设备的潜力!你知不知道,如果按我的参数走,这根裂掉的晶棒能多切出多少片合格的晶圆?!”
“我只知道,按你的参数走,我没法写SOP(标准作业程序)!”周德明一巴掌拍在操作台上,“不能写进SOP的工艺,在量产线上就是垃圾!”
两人针锋相对,互不相让。
车间里的空气仿佛凝固了。几个新招的实验员缩在角落里,大气都不敢喘。这俩神仙打架,谁敢上去劝?
“咔哒。”
车间的气密门被推开了。
陈启穿着一身深蓝色的休闲西装,没戴无尘帽,就这么走了进来。
他走到操作台前,看了看桌上那份报告,又看了看剑拔弩张的两个人。
脑海里,暗金色的系统面板悄然浮现。
【目标锁定:陶安然。】
【当前情绪:暴怒。】
【核心诉求:追求工艺的绝对完美。】
【目标锁定:周德明。】
【当前情绪:固执。】
【核心诉求:追求量产的绝对稳定。】
【系统评估:技术互补性S级。协作摩擦度:极高。建议宿主不要直接干预,让他们在碰撞中寻找平衡点。】
陈启关掉面板。
他没有像往常那样直接下达指令,也没有偏袒任何一方。
他拉过一把折叠椅,在操作台旁边坐下,翘起二郎腿,饶有兴致地看着他们。
“继续吵。”陈启端起旁边水杯里的一口凉白开,喝了一口,“我听着挺有意思的。”
陶安然愣住了。
周德明也皱起了眉头。
“陈总,这事关乎碳化硅一期的量产良率!”陶安然急了,“这老头简直不可理喻!”
“你说谁老头?!”周德明瞪起眼睛。
“行了。”陈启放下水杯,敲了敲桌子。
他看着陶安然。
“陶工。你觉得你的动态参数是完美的。对吧?”
“对!只要操作得当,良率绝对能上95%!”陶安然咬牙切齿。
陈启又看向周德明。
“周总监。你觉得她的参数在量产线上不可控,所以改成了恒定流量。对吧?”
“是!量产必须傻瓜化!”周德明毫不退让。
“好。”
他在脑海中,迅速调出了系统Lv.5解锁的【实业图纸Lv.2:碳化硅完整工艺】。
在长晶工艺的第47页,关于氩气流量控制的部分,系统给出的并不是陶安然的动态微调,也不是周德明的恒定流量。
而是一个极其精妙的折中方案。
陈启走到白板前,拿起记号笔。
“你们两个,一个是研发天才,一个是量产狂人。你们都在用自己的逻辑思考问题。”
陈启在白板上画了一条温度曲线。
“陶工,你的动态调整,是为了在1850度到1900度这个区间,释放热应力。”陈启在曲线上画了一个圈,“但周总监说得对,人工微调的容错率太低。”
陈启转头看向周德明。
“周总监,你的恒定流量虽然稳定,但确实浪费了设备的潜力,导致了34%的废品率。”
陈启手里的记号笔在白板上重重地点了两下。
“那如果,我们不靠人工微调,也不用恒定流量呢?”
陶安然和周德明同时愣住了。
“不用人工,不用恒定?”陶安然皱起眉头,“那用什么?”
陈启在白板上写下了一行公式。
这是系统图纸里,关于氩气流量与炉腔压力的联动控制模型。
“我们把氩气流量的控制阀,和炉腔内的微压传感器联动起来。”陈启指着那行公式,“设定一个压力阈值。当晶体生长到中段,热应力导致炉腔内部微压发生变化时,传感器捕捉到信号,自动反馈给PLC控制系统,由系统在0.1秒内完成氩气流量的阶梯式调整。”
陈启看着两人。
“把陶工的‘动态微调’,写进周总监的‘自动化SOP’里。不需要人工干预,设备自己调整。”
车间里死一般的寂静。
陶安然看着白板上的那行公式。
她的脑子在飞速运转。她是一个天才,只需要一个点拨,她就能看穿整个逻辑的闭环。
“利用微压反馈来控制流量”陶安然喃喃自语,眼睛越来越亮,“对!热应力的释放必然伴随着局部气压的微小波动!只要传感器的精度够高,完全可以实现自动化闭环控制!”
她看着陈启。
“陈总这个联动模型你是怎么想出来的?!”
陈启没有回答她。
他转头看向周德明。
“周总监。如果把这个联动控制写进SOP,由PLC系统自动执行。你觉得,量产的纪律,还能保证吗?”
周德明站在原地。
他那双浑浊的眼睛,此刻瞪得老大。
他在日本干了二十年,见过无数先进的设备和工艺。但他从来没想过,可以用这种方式,把研发的参数和量产的稳定性完美地结合在一起。
这简直是神来之笔。
周德明他没有说话。他走到操作台前,拿起那根废掉的晶棒。
“马上联系华科的赵厂长!让他派两个自动化工程师过来!明天早上八点之前,我要看到这三台炉子的气阀和压力传感器完成硬件联动改造!”
周德明把那根废晶棒扔进废料桶。
那张满是皱纹、总是透着冷漠的脸上,第一次露出了一丝极为难得的笑容。虽然笑得比哭还难看。
“陶工。”周德明推了推眼镜,“你的参数,我收下了。我这就去重写SOP。”
陶安然看着这个固执的老头。
她紧绷的肩膀,终于放松了下来。
她伸出手。
“周总监。合作愉快。”
周德明愣了一下。
他伸出那双粗糙的手,和陶安然握在了一起。
“合作愉快。”
陈启站在旁边,看着这一幕。
这两个刺头,终于咬合在了一起。
http://www.badaoge.org/book/156945/57618420.html
请记住本书首发域名:www.badaoge.org。笔尖中文手机版阅读网址:m.badaoge.org